光氧催化設備主要利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S,VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物的分子鏈在高能紫外線的光束的照射下降解轉變成低分子化合物，如CO2和H2O等。
利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子及水分子產生游離氧（活性氧）和OH自由基，因游離氧和所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2---O_+O*(活性氧)+O2---O3（臭氧），眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對工業廢氣及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。
光氧催化設備一般情況需要安裝在通風情況比較好的場所，并且還要在有自然光源的情況下進行使用，這樣才能夠讓設備內部的催化劑可以與自然光源中的紫外線進行接觸，生成具有氧化效果的臭氧物質，這樣對于有機廢氣可以達到比較理想的氧化處理效果。光催化設備的主要應用技術就是我們常說的光觸媒技術。
需要使用特殊波段的紫外線燈管進行安裝和設計，不同風量的車間對于紫外線燈管的多少和排列布局有比較重要的影響。一般情況下，利用風機的壓力可以將有機廢氣聚集到光催化設備的內部，這樣相對來說濃度較高的廢氣就會在強烈紫外下光束的影響下開始分裂凈化工作。這種設備的優勢在于可以在低濃度大風量的環境中安裝使用，并且可以得到比較理想的處理效果。
